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CEM3000系列SEM電鏡掃描儀器采用的鎢燈絲電子槍控制相對(duì)簡單，操作容易上手，不需要專業(yè)的、長時(shí)間的培訓(xùn)即可掌握其基本操作技能，適合廣大用戶使用，尤其是對(duì)于那些沒有深厚電子顯微鏡操作經(jīng)驗(yàn)的初學(xué)者或非專業(yè)技術(shù)人員來說，更容易快速熟悉和使用設(shè)備，開展相關(guān)的檢測和研究工作。

中圖儀器CEM3000系列sem掃描電子顯微鏡空間分辨率出色和易用性強(qiáng)，用戶能夠非常快捷地進(jìn)行各項(xiàng)操作。甚至在自動(dòng)程序的幫助下，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

CEM3000高穩(wěn)定性掃描電鏡設(shè)備臺(tái)式電鏡緊湊的外型，能夠不受場地尺寸制約，真正做到了空間適用性，用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。采用的鎢燈絲電子槍控制相對(duì)簡單，操作容易上手，不需要專業(yè)的、長時(shí)間的培訓(xùn)即可掌握其基本操作技能，適合廣大用戶使用。

中圖儀器CEM3000系列大倉室臺(tái)式掃描電鏡用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析。采用的鎢燈絲電子槍控制相對(duì)簡單，操作容易上手，不需要專業(yè)的、長時(shí)間的培訓(xùn)即可掌握其基本操作技能，適合廣大用戶使用。

VT6000白光干涉共聚焦測量顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

NS系列高重復(fù)性大量程臺(tái)階儀臺(tái)階高度重復(fù)性能低于5A，Z0向測量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達(dá)亞埃米級(jí)，且垂直方向動(dòng)態(tài)比率高，可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。探針物理接觸測量結(jié)果穩(wěn)定可靠，重復(fù)性好，精準(zhǔn)拿捏測量的輪廓形貌細(xì)節(jié)。