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NS系列接觸式薄膜臺(tái)階測(cè)量?jī)x是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測(cè)量?jī)x器，其主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數(shù)的測(cè)量。儀器采用了線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率。

NS系列涂層薄膜測(cè)量臺(tái)階儀是利用光學(xué)干涉原理，通過(guò)測(cè)量膜層表面的臺(tái)階高度來(lái)計(jì)算出膜層的厚度，具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測(cè)量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。

NS系列軟膜材料臺(tái)階高度測(cè)量?jī)x是利用光學(xué)干涉原理，通過(guò)測(cè)量膜層表面的臺(tái)階高度來(lái)計(jì)算出膜層的厚度，具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測(cè)量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。

NS系列涂層厚度測(cè)量臺(tái)階儀采用了線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。

NS系列高精度薄膜臺(tái)階測(cè)量?jī)x是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測(cè)量?jī)x器，主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數(shù)的測(cè)量。在膜厚測(cè)量方面，它是利用光學(xué)干涉原理，通過(guò)測(cè)量膜層表面的臺(tái)階高度來(lái)計(jì)算出膜層的厚度，具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。

NS系列沉積薄膜高度臺(tái)階儀能夠測(cè)量納米到330μm或1050μm的臺(tái)階高度，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。