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?中圖儀器激光干涉儀sj6000配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。

SJ6000激光干涉儀?測量分辨率0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。

加工中心激光干涉儀常用于數(shù)控機床精度檢測和補償?？梢詫⒕€性測量結(jié)果生成誤差補償表，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。

SJ6000國內(nèi)激光干涉儀可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量，還可以實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、加速度、速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

?便攜式激光干涉儀器可以將線性測量結(jié)果生成的誤差補償表，有效地降低運動軸的位置誤差。

SJ6000激光干涉測量儀與不同光學(xué)附件結(jié)合，可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu)，安裝位置靈活，便于分析機床誤差來源；而且測量時可以在工作部件運動過程中自動采集數(shù)據(jù)，更接近機床的實際使用狀態(tài)。