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CEM3000系列高空間分辨率臺(tái)式掃描電鏡是一款用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。其抗振設(shè)計(jì)，在充滿機(jī)械振動(dòng)和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山，不管是高樓的實(shí)驗(yàn)室，還是有一定振動(dòng)的生產(chǎn)車間等非常規(guī)電鏡使用環(huán)境，都能拍攝出清晰、高分辨率的圖像。

SuperVIewW納米級(jí)白光干涉三維形貌分析測量儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。

VT6000材料3D觀察測量共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，在相同物鏡放大的條件下，共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高。它具有直觀測量的特點(diǎn)，能夠有效提高工作效率，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù)。

CEM3000大空間適用性臺(tái)式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個(gè)電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。其抗振設(shè)計(jì)，在充滿機(jī)械振動(dòng)和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山，拍攝出清晰、高分辨率的圖像。

NS系列高精度薄膜臺(tái)階測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。在膜厚測量方面，它是利用光學(xué)干涉原理，通過測量膜層表面的臺(tái)階高度來計(jì)算出膜層的厚度，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。

VT6000光學(xué)顯微共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。