目前，在幾何量測量中最重要的激光技術(shù)是用廣電轉(zhuǎn)換條紋計(jì)數(shù)等方法來測量長度，這種方法具有精度高、速度快、量程大、始于非接觸測量及自動(dòng)測量等優(yōu)點(diǎn)?；诩す飧缮鎯x技術(shù)的精密角度測量系統(tǒng)，通過角度轉(zhuǎn)換裝置將角度量轉(zhuǎn)換為可以反映干涉光路中光程差變化的線性位移量，由此引起干涉條紋的變化，再通過相應(yīng)電路對(duì)干涉條紋進(jìn)行一系列處理，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)大轉(zhuǎn)角的精密測量。具有結(jié)構(gòu)簡單、誤差恒定、測量精度高、測角范圍大、易于數(shù)字化等特點(diǎn)。

激光干涉儀利用激光作為長度基準(zhǔn)，可以對(duì)數(shù)控設(shè)備（加工中心、三坐標(biāo)測量機(jī)等）的位置精度（定位精度、重復(fù)定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進(jìn)行精密測量。其中角度測量主要應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)軸的角擺測量和轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度測量?？筛呔葯z測機(jī)床/三坐標(biāo)精度誤差。

激光干涉儀角度測量法原理

角度反射鏡旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生轉(zhuǎn)角，或是移動(dòng)過程中產(chǎn)生角擺，兩束反射光會(huì)有相對(duì)應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號(hào)，經(jīng)過運(yùn)算處理，即可得出對(duì)應(yīng)的角度值。

角度測量原理構(gòu)建圖

激光干涉儀測量角度基本配置：

角度測量配置主要由SJ6000主機(jī)、角度鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足±10°范圍內(nèi)的角度測量。

運(yùn)動(dòng)軸的俯仰角度測量示意圖

運(yùn)動(dòng)軸的偏擺角度測量示意圖

《激光干涉儀測量機(jī)床精度之線性測量》